INFICON推出用于OLED沉积的镁敏晶体

图片来源：INFICON

石英晶体微天平（QCM）是INFICON最重要的产品之一，用于有机发光二极管（OLED）和光学器件制造，以及许多其他应用。由于薄膜的质量负载，QCM的共振频率发生了变化，这使得它可以被用作测量衬底上薄膜厚度积累速率的替代方法。

INFICON高精度传感器晶体的设计是基于许多OLED制造商对更稳定的晶体的要求，在控制OLED材料的沉积时，更不容易出现活性下降（活性信号的不稳定）。INFICON高精度传感器晶体的场性能表明，在出现的次数和很少发生时的量级方面，活性下降几乎消失提高了速率稳定性。

此前，OLED行业还没有快速检测镁的解决方案。用户必须解决这个镁延迟问题，在实际沉积监测之前，在相同的真空室中用镁预涂晶体。这一额外步骤的预涂镁需要相当耗时，昂贵且浪费材料。

为了开发镁敏OLED晶体生产线，INFICON详细研究了晶体制造的所有组件和加工参数，包括晶体的形状和光洁度、电极厚度、电极材料和电极的涂覆率。通过对各种晶体的制备、测试和分析，优化了材料和工艺参数。使用经过研究和现场验证的优化材料和工艺参数，INFICON镁敏OLED晶体由此诞生。

INFICON目前为标准镁敏OLED晶体生产线提供金和合金电极材料。此外，更高等级和更稳定的镁敏晶体生产线（基本上没有活性下降）也可用于这两种电极材料。

关于INFICON

INFICON是创新仪器仪表、关键传感器技术和智能制造／工业4．0软件解决方案的领先供应商，可提高工具、工艺和完整工厂的生产力和质量。其分析、测量和控制产品为复杂制造半导体、光学薄膜涂层、平板显示器，太阳能电池和工业真空镀膜应用领域的设备制造商集终端用户提供了众多可能。INFICON总部位于瑞士，在欧洲、美国和中国拥有世界一流的制造工厂，并在中国、丹麦、芬兰、法国、德国、意大利、日本、韩国、列支敦士登、墨西哥、新加坡、瑞典、瑞士、英国和美国等国家与地区设有子公司。