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TA1纯钛靶,真空镀膜用钛靶,95*45mm
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  • 发布时间:2019-08-24 23:55

产地:陕西 宝鸡市 | 归属行业:喷涂溅射材料

有效期至:长期有效

联系人: 罗红丽

手机:13369190090

联系地址:陕西宝鸡宝鸡市渭滨区钛城路中段

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品牌/厂家:大洋金属牌号:TA1材质类型:金属靶材材料名称:钛规格:95*45形状:圆柱用途:镀膜制备工艺:溅射成份:Ti技术标准:GB/T 2965钛含量:99.8%用途:溅射镀膜、工件表面涂层,玻璃镀膜工业杂质含量:0.01%镀膜优势色:金黄色/枪黑 色 蓝色/玫瑰红area class="lazyLoad">

产品详情

产品名称:高纯度钛靶

牌号:TA1

钛含量:99.8%

杂质含量:0.01%

规格:95*45mm

镀膜优势色:金黄色、枪黑色、蓝色、玫瑰红

形状:圆柱形




靶材的主要性能要求:

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。










 宝鸡大洋金属材料有限公司(简称:大洋金属)位于中国钛工业重镇—陕西宝鸡。
  本公司是专业从事钛及钛合金、难熔、稀有等有色金属材料加工、生产、开发、销售为一体的综合性企业。公司依托“中国钛城”的强大综合实力进行高效的资源共享;具备得天独厚的地域、材料、科研优势,为用户提供优质的产品。 加工材料类:钛及钛合金板、棒、丝、管。 制品类:钛及钛合金阀、法兰、标准件、各类非标钛制品等。 难熔类:钨、钼、钽、铌、锆、铪、镍材料及其制品的生产与销售。

  
  我们的生产理念:质量至上、用户满意、精益求精、务实创新。 我们的经营宗旨:以诚为本、取信在先、合理求利、共谋发展。 “海纳百川,有容乃大”宝鸡大洋金属材料有限公司愿意敞开大海般宽阔的胸怀和国内外各大客户结成良好的伙伴关系。让我们共同畅游在浩瀚的“大洋”之中,乘风破浪,勇往直前,携手共创美好未来热诚欢迎各界朋友来访、来函、洽谈、合作。


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