深耕半导体设备零部件加工行业近20年，托伦斯半导体设备公司以科技创新为抓手，持续赋能产品和服务

来源 : 启东日报发布时间 : 2022-09-20访问次数 :

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企业是创新发展的重要载体。今年以来，我市围绕全面提升以科技创新为核心的全域创新能力总要求，在科创项目引培、高新技术企业培育方面集中发力，厚植“科创森林”，量质并举壮大了科创企业集群。今起，本报推出《走进科创型企业》专栏，记者走进企业一线，深入市场主体，记录我市科创型企业的创新发展生动实践。

9月5日下午，托伦斯半导体设备启东有限公司机加生产车间产线高速运转，作业人员熟练操作机床控制面板进行半导体前道设备零部件的加工生产。“公司上半年实现营业收入1.7亿元，同比增长80%，目前在手订单约2.9亿元，已排至明年。”公司管理总监祝耀辉说道。

托伦斯公司深耕半导体设备零部件加工行业近20年，客户包括北方华创、中微半导体、日本松下等一大批知名企业。公司2018年从上海抢滩启东经济开发区，并在2020年8月将上海生产中心全部转移至启东。启东新厂传承上海工厂竞争优势，与客户成功合作研发多套世界先进的高端设备并正式量产，2021年公司实现营业收入近2亿元。

头部企业的认可、市场份额的提升，托伦斯公司有着自己的获胜秘诀。半导体设备制造对于制程、质量、洁净度等都有极其严苛的要求和准入制度。托伦斯公司拥有近50项专利，其中精密加工、钎焊焊接及自动轨道焊接技术、特殊表面处理制程等关键制程研发能力和垂直整合能力，不管是在国内市场，还是在国际市场，托伦斯公司都是半导体设备制造商们为数不多的可选供应商。

走进生产车间的真空钎焊区，用于加工有流道分布半导体设备零部件的3台真空钎焊炉24小时运转作业。“公司独有钎焊工艺加工的零部件可以做到小流道不堵、大流道不漏，产品有较高的洁净度，不会有其它杂质进入，目前这类产品市场占有率处于国内领先地位。”公司研发总监莫任福介绍说。

公司钎焊加工工艺的日臻成熟得益于研发生产团队数十年不断的潜心钻研和实践积累。2004年起，研发生产团队开始尝试将常见于汽车零部件、空调零部件加工的钎焊技术应用于半导体设备零部件的加工中，根据生产一线的长期观察和不断实践，设计改进并定制生产设备，优化加工处理方法，成功取得技术突破，为托伦斯公司赢得与众多龙头半导体企业合作的机会。

公司是国际排名前三的某激光设备商在国外唯一一家高功率高频率光纤激光器核心机械零部件供应商。该产品核心零部件对于材料、加工、钎焊工艺、热处理技术及表面化学清洗工艺要求十分严格，设备商曾多次寻找国外合作供应商未果。托伦斯公司于2012年开始为该设备商提供试样产品,并在加工过程中对光纤的端面线圈加工进行优化，优化后加工时间比同类公司节省近6小时，赢得设备商的高度认可。

长期以来对科研创新的持续投入，是托伦斯公司不断在技术创新和产品研发取得较好成果、始终处于行业领先地位的底气所在。公司每年投入近5%的营业收入作为研发经费，用以支持研发创新工作和研发成果转化。公司还高度重视研发团队建设，聘任的核心研发人员具备多年行业理论研究及成果转化经验，经多年积累，建立起一支专业背景扎实、行业经验丰富、创新能力强大的研发团队，并与江苏大学等高校开展产学研合作，以专利技术创新持续赋能产品和服务。

“作为技术密集型行业，半导体设备企业对研发的要求普遍较高，在‘国产替代’浪潮下，国内半导体厂商仍有较大上升空间，托伦斯公司将聚焦技术创新能力提升与研发成果转化，持续加大研发投入，提升研发实力，打造国际领先的半导体设备服务商。”祝耀辉说。

企业的稳步发展离不开政府部门的贴心服务。我市出台相关政策加强要素扶持，托伦斯公司已享受技改新增设备投入补贴；市科技局积极引导公司申报高新技术企业，通过加大政策宣传力度，帮助公司了解申报要求、申报流程和注意事项，助力托伦斯公司成功申报高新技术企业，并成功获评2022年南通市瞪羚企业。

（韩银平）