热式气体质量流量控制器

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品牌：超品型号：SQC-100测量范围：30SLM测量精度：1%适用范围：气体加工定制：是外形尺寸：127*100*30mm重量：0.88kg耐压：3MP适用介质：气体不适用：有毒有腐蚀性气体温度：50℃

概要

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）利用温差量热法原理，可对气体的质量流量进行精密测量和控制。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。MFC出厂通常用氮气（N2）标定。质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)，SLM (标准升/分)标准状态规定为：温度---273.15 K（0℃），气压—-101325 Pa（760mm Hg）F.S.（Full Scale）：满量程值

产品特点

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。

流量规格(N2标定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：满量程流量不限于此处列出的流量规格，可以在5SCCM～30SLM范围内任选，例如123SCCM。

输入输出信号

0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)

应用行业

化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。

质保与服务

我公司承诺对产品的质保期为叁年。在您收货后叁年以内，如果按照说明书要求使用，遵守安全注意事项，并且产品没有被损毁、改装或翻新，若有任何故障和问题，我公司负责免费维修或更换新品。在保修期外，我们提供终身维修和维护服务，但适当收取维修和维护的成本费。维修和维护后，维修部分的质保期为壹年。我公司有专业的售后工程师可以帮助您解决关于安装和使用等各方面的问题，并且提供产品的使用培训。

规格参数

型号SQC-100

 北京超品科技有限公司成立于2016年，位于中国北京，拥有员工20人，本科及以上学历达到80%，公司被评为中关村高新技术企业。主要从事各系列真空产品、各系列质量流量控制器、质量流量计及气体混气仪等产品的研发、制造及销售。产品广泛应用于石油、化工、医疗、光伏、新能源、新材料、半导体等领域。   同时，公司以无国界贸易为使命，为我国中小传统企业拓宽进入国际市场的路径，促进多边资源的优化配置与企业共赢，提供专业化解决方案与服务。    未来，公司将继续秉承“智慧创业、持续创新、高速发展”的理念，把握机遇，发挥自身技术和开拓创新优势，全方位服务于全国中小型传统企业。 

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真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：
1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、选择真空机组：

(1)当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。

(2)有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。

5、当您选择油封泵时，您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等，也能达到清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7、当选择油封真空泵时，要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，应该选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。

在考虑到了各种情况后，才能最后确定一个适应于您的解决方案：

(1)最小的投资费用。

(2)最小的生产运行费用。

(3)将前两种情况合理均匀分配的可行方案。