东莞市三姆森光电科技有限公司
资料信息
认证信息
品牌:其他型号:测量范围:70CM测量精度:0.005um用途:尺寸测量分辨率达20nm:采集频率1000赫兹 • •1)解决普通激光位移传感器无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致的无法检测和测量误差的问题。 • •2)解决普通激光位移传感器对微小平面,台阶面无法采集数据的问题; • •3)采用色散共焦垂直测量技术,可任意规划扫描方向,不存在遮挡激光的问题。 • •4)更高的精度,最高分辨率达20nm。 • •5)适应恶劣环境(高温、高压、照射、强磁 )。 • •6)几乎可通用任何材料,均可以达到高精度的测量。 (特别是对镜面、全透明玻璃面、高光金属等产品的检测具有绝对优势)。 • •7)光学笔测量精度纳米级别。 •8)体积更加小巧,USB一线通讯,操作更加简单。 三姆森光谱共焦量测 三角激光测量 原理图 数据来源 通过白光(复色光RGB)光的波长转换高度数据 通过单色光,入射光线反射到芯片转换高度数据 材质 任何材质 需要有反射 光斑大小 0.02mm(近似圆) 0.2mm (圆径) 工作距离 一般 15mm 一般 8mm 反射角度 最小在1度左右 最小12-35度 精度 光谱笔测量精度纳米级 激光感测头测量精度微米级 扫描路径 在线动态扫描采集,不受测量路径方向性影响 静态单点扫描采点,且采点有方向的限制 (安装方式与采点路径有方向要求) 其他测量仪器 二次元 CCD投影方式,无法测量曲面玻璃 三次元 探针接触式,同样的测量尺寸数量,如200个尺寸至少要十分钟,光谱共焦技术,只要3分。