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干式真空泵SDE8060机械增压泵日本KASHIYAMA
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  • 发布时间:2019-04-24 22:01

产地:广东 深圳市 | 归属行业:真空获取与应用设备

有效期至:长期有效

联系人: 陈俊

手机:13316583651

联系地址:广东深圳深圳市龙华新区龙华新区华都大厦203室

商铺网址: http://gongpinghui.okhy.cn/

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  • 所在地:广东 深圳市

品牌:日本KASHIYAMA型号:SDE8060工作原理:往复真空泵极限真空度类型:超高真空极限真空度:0.00000001Pa抽气速率:0.5L/s电机功率:5000kW工作压强范围:30Pa温升:50℃进气口径:25mm出口口径:60mm转速:80r/min用油量:1L供水量:7L/min材质:564噪音:78db(A)适用领域:43加工定制:否外观尺寸:78mm重量:20kgxr:59gh:61sy:6xg:14wt:63area class="lazyLoad">

干式真空泵SDE8060机械增压泵日本KASHIYAMA

KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。

KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并,除此之外,鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。

干式真空泵SDE8060机械增压泵日本KASHIYAMA

最高抽速可达200,000 L / min级

适用于大型晶圆/ FPD基板

回应每个过程

SDE1220  SDE20M20  SDE30M20  SDE4060  SDE4030M20  SDE8060  SDE804060

干式真空泵SDE8060机械增压泵日本KASHIYAMA

仕様 / 型式 *1

SDE1220

SDE20M20

SDE30M20

SDE4060

SDE4030M20

SDE8060

SDE804060

最大排気速度
[L/min] *2

20,000

30,000

50,000

60,000

80,000

120,000

190,000

到達圧力
[Pa] *2

0.5

0.8

0.5

0.8

0.5

電源電圧
(50/60Hz)

3相 AC200~220V, 380~480V

外観寸法 [mm]
W*H*L *3

W:400
H:780
L:930

W:450
H:950
L:1000

W:450
H:950
L:1000

W:750
H:1200
L:1600

W:800
H:1580
L:1320

W:850
H:1220
L:1600

W:1000
H:1980
L:1850













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