工品汇科技(深圳)有限公司
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认证信息
品牌:日本KASHIYAMA型号:SDE8060工作原理:往复真空泵极限真空度类型:超高真空极限真空度:0.00000001Pa抽气速率:0.5L/s电机功率:5000kW工作压强范围:30Pa温升:50℃进气口径:25mm出口口径:60mm转速:80r/min用油量:1L供水量:7L/min材质:564噪音:78db(A)适用领域:43加工定制:否外观尺寸:78mm重量:20kgxr:59gh:61sy:6xg:14wt:63 干式真空泵SDE8060机械增压泵日本KASHIYAMA KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。 KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并,除此之外,鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。 干式真空泵SDE8060机械增压泵日本KASHIYAMA 最高抽速可达200,000 L / min级 适用于大型晶圆/ FPD基板 回应每个过程 SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060 干式真空泵SDE8060机械增压泵日本KASHIYAMA 仕様 / 型式 *1 SDE1220 SDE20M20 SDE30M20 SDE4060 SDE4030M20 SDE8060 SDE804060 最大排気速度 20,000 30,000 50,000 60,000 80,000 120,000 190,000 到達圧力 0.5 0.8 0.5 0.8 0.5 電源電圧 3相 AC200~220V, 380~480V 外観寸法 [mm] W:400 W:450 W:450 W:750 W:800 W:850 W:1000
[L/min] *2
[Pa] *2
(50/60Hz)
W*H*L *3
H:780
L:930
H:950
L:1000
H:950
L:1000
H:1200
L:1600
H:1580
L:1320
H:1220
L:1600
H:1980
L:1850