混合气体配比气体混配器流量流量配比 高精度气体控制配比柜

手机扫描查看

产品型号

KT-S3Z

产品类型

高精度型,快响应型

流量量程

100sccm,200sccm,300sccm,500sccm （根据实验需求）

产品精度

±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)

重复精度

±0.2% FS

线性

±0.5% F.S.

响应时间

≤2sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

3MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

输入输出信号

(0~5)VDC

电源

±15V

阀类型

常闭

温度系数

- 无 -

零点飘移指标

- 无 -

电气连接

D sub 15 pins Male

工作压差范围

(0.1～0.3) MPa,(0.1～0.5) MPa

漏率

1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式

双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头

压力表量程

-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

仪器尺寸

400x380x380

不锈钢截止阀

采用316不锈钢制作

表面粗糙度

- 无 -

抗电磁干扰

CE

重量

23kg