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日本机械增压泵KASHIYAMA干式真空泵SDL36M60
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  • 发布时间:2019-06-13 05:32

产地:广东 深圳市 | 归属行业:真空获取与应用设备

有效期至:长期有效

联系人: 陈俊

手机:13316583651

联系地址:广东深圳深圳市龙华新区龙华新区华都大厦203室

商铺网址: http://gongpinghui.okhy.cn/

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  • 所在地:广东 深圳市

品牌:日本KASHIYAMA型号:SDL36M60工作原理:往复真空泵极限真空度类型:超高真空极限真空度:0.00000001Pa抽气速率:0.5L/s电机功率:5000kW工作压强范围:30Pa温升:50℃进气口径:25mm出口口径:60mm转速:80r/min用油量:1L供水量:7L/min材质:564噪音:78db(A)适用领域:43加工定制:否外观尺寸:78mm重量:20kgxr:59gh:61sy:6xg:14wt:63area class="lazyLoad">

日本机械增压泵KASHIYAMA干式真空泵SDL36M60

KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。

KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并,除此之外,鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。


SDL系列日本机械增压泵KASHIYAMA干式真空泵SDL36M60

支持放大晶圆和FPD

通过组合可以实现大排量。 我们将回应超过150,000升/分钟的要求。

更短的节拍时间

通过确保大气侧排气速度,高速抽空大型负载锁定室

SDL12E50  SDL20E50  SDL36M60  SDL40E60  SDL40E201  SDL40EW201  SDL80201

日本机械增压泵KASHIYAMA干式真空泵SDL36M60

仕様 / 型式

SDL12E50

SDL20E50

SDL36M60

SDL40E60

SDL40E201

SDL40EW201

SDL80201

最大排気速度
[L/min] *1

25,000

50,000

60,000

70,000

80,000

150,000

170,000

到達圧力
[Pa] *1

0.8

0.5

0.8

5.0

電源電圧
(50/60Hz)

3相 AC200~220V, 380~480V

3相 AC380~440V











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