小型6Lparylene涂层系统 P6 德国 Diener原装进口

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品牌：Diener型号：P6原理类型：真空化学气相沉积镀膜机应用领域：光学薄膜极限真空度：0.02Pa镀膜室尺寸：200*200mm工作真空度：1×10-3mbar Pa升压率：根据工艺而定Pa/h抽气时间：20min靶材利用率：90%基材尺寸：200*200可镀基材：200*200卷绕速度：可调m/min真空室材质：不锈钢真空获得系统：真空泵工件运动方式：真空系统控制：全自动控制最高加热温度：700℃热区加热均匀度：2±℃冷却方式：液氮/冷阱流量：可调L/min蒸发功率：5kW整机总功率：5kW适用领域：通用加工定制：非加工定制外观尺寸：W700*D500*H700mmmm重量：100kg腔体容积：6.28L涂层厚度：0.05～50μm冷却：液氮最低可达﹣100℃极限压力：1×10-3mbar涂层腔体尺寸：Ø200 m*L200mmmarea class="lazyLoad">

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Parylene涂层设备 P6

聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。

聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据

分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、

D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象

沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。

Parylene涂层优势

l  可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用

l  所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性

l  室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材

l  润滑性能好

l  光透过性能好

主要技术参数：

1.    全自动控制

2.    涂层材料：聚对二甲苯，聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯

3.    涂层厚度：0.05～50μm

4.    热解：5KW ， 最高温度 700℃

5.    进气含均匀分散系统

6.    冷却：液氮最低可达﹣100℃

7.    极限压力：1×10-3mbar，配有两个皮拉尼传感器

8.    涂层腔体尺寸，Ø200 mm*L200mm，容积约6.28L

9.    旋转架尺寸：Ø170mm*L170mm

10. 真空泵系统：双级螺旋泵 16 m3/h, 莱宝D16B

11. 连接件：25mm真空管，泵与主机连接件，6 bars 干燥无油的空气

12. 外尺寸：W700*D500*H700mm

13. 电源电压：400V/16A/50-60Hz