德国原装进口 Diener 派瑞林涂层 Parylene P6

手机扫描查看

品牌：Diener型号：P6原理类型：真空化学气相沉积镀膜机应用领域：工业涂层极限真空度类型：高真空0.00001~0.1Pa极限真空度：0.1Pa镀膜室尺寸：Ø200 mm*L200mmmm工作真空度：1.5Pa升压率：可调Pa/h抽气时间：30min靶材利用率：90%基材尺寸：Ø200 mm*L200mm可镀基材：耐真空样品卷绕速度：可调m/min真空室材质：不锈钢真空获得系统：泵组工件运动方式：旋转系统控制：全自动Full PC最高加热温度：700℃热区加热均匀度：2±℃冷却方式：液氮或冷阱流量：可调L/min蒸发功率：5kW整机总功率：7kW适用领域：通用加工定制：非加工定制外观尺寸：L2200*W2700*H1600mmmm重量：100kg腔体材质：不锈钢涂层厚度：0.05～50μm冷却：﹣100℃极限压力：1×10-3mbar电压：400V/16A/50-60Hzarea class="lazyLoad">

Parylene涂层设备 P6

聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。

聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据

分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、

D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象

沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。

Parylene涂层优势

l  可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用

l  所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性

l  室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材

l  润滑性能好

l  光透过性能好

主要技术参数：

1.    全自动控制

2.    涂层材料：聚对二甲苯，聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯

3.    涂层厚度：0.05～50μm

4.    热解：5KW ， 最高温度 700℃

5.    进气含均匀分散系统

6.    冷却：液氮最低可达﹣100℃

7.    极限压力：1×10-3mbar，配有两个皮拉尼传感器

8.    涂层腔体尺寸，Ø200 mm*L200mm，容积约6.28L

9.    旋转架尺寸：Ø170mm*L170mm

10. 真空泵系统：双级螺旋泵 16 m3/h, 莱宝D16B

11. 连接件：25mm真空管，泵与主机连接件，6 bars 干燥无油的空气

12. 外尺寸：W700*D500*H700mm

13. 电源电压：400V/16A/50-60Hz

Parylene涂层设备P300

聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。

聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据

分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、

D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象

沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。

Parylene涂层优势

l  可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用

l  所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性

l  室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材

l  润滑性能好

l  光透过性能好

主要技术参数：

parylene N, C, D,F-VT4

控制: Windows Full PC

涂层厚度: 0.05 ~100 um

外形尺寸：W2700*D2600*1600mm:        

裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850 °C  

样品舱：Φ700mm*H720mm

样品台：Φ600mm*H660mm

耦合剂CVD一体化设计

冷却方式：液氮

真空泵系统：

Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa

外尺寸：L2200*W2700*H1600mm（不包含真空泵）

Parylene涂层设备P260

聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。

聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料，根据

分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、

D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象

沉积，聚合而成的薄膜有着非凡的性能。

Parylene涂层优势

l  可抵抗化学和环境侵蚀，对产品无副作用

l  所形成的涂层具有完美的均匀性、缝隙渗透性

l  室温下既可以进行涂层，防止高温损坏基材

l  润滑性能好

l  光透过性能好

技术参数：

Parylene N, C, D,F-VT4,F-AF4

涂层厚度: 0.05 ~ 100 um       

裂解管功率及温度:  4 kW / max. 850 °C  

Gas injection:homogenous dispersal system

样品舱:Φ640*H800mm

样品台:Φ560*H650mm

耦合剂CVD一体化设计

冷却方式：液氮

等离子预处理模块：80kHz 0~5kW

真空泵系统：

Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa

控制: Windows Full PC

外形尺寸：W2600*D1000*2000mm