青岛森泉光电有限公司
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品牌:TMC型号:Quiet Island 半导体生产工厂都要有高架地板来适应复杂设备的要求(水管设施、电缆、输气管等)以及保持严苛的净度。这样的地板对于极度振动敏感产品、检验以及计量设备的安装都是极大挑战。高架地板不能为这样的设备提供必要的振动环境。 TMC的Quiet Island是利用固定于底层地板下面的‘QuietIsland’来代替高架地板一部分的创新的解决方案。QuietIsland是包含带有专门的支撑结构的特殊平台。 平台 平台是由TMC设计并生产的夹着轻质、不可压缩的阻尼核心材料的钢制4inch薄板。由坚硬的钢板、核心以及环氧树脂粘合成的具有夹层效果的不锈钢钢板使产品具有极高的硬度和结构阻尼。大面积的横截面和含钢量使整体硬度达到一个较高等级。平台顶面和边缘是 连续的整块的不锈钢外壳,用来保持其净度、外观和完整性。 平台支撑 基于特殊的应用需求,平台支撑可以是刚性非共振支柱或者STACIS 2100主动振动消除系统。如果底层地板满足工具的振动标准,用支腿支撑设备不会放大振动时,选择支撑结构是合理的。TMC为一定高度范围的地板设计了一组刚性的支腿。这些三脚架、四面支架或者正方形横断面支架都可以直接和底层地板、平台相接。 然而,如果底层地板不满足工具振动标准或者以后将会不满足要求,就必须使用振动隔离系统。STACIS 2100就是个理想的选择。STACIS2100与所有内置振动隔离系统的设备都兼容。“hard-mount”设计非常坚固,对于高大的、顶部很沉的设备也不需要担心稳定性。 刚性支腿和STACIS 2100支撑是可以互换和即时升级的。同时,对于实验室的高架地板环境中的敏感设备都提供了完整解决方案。 其他Quiet Island配置 种类繁多的高架地板以及安装中面临的挑战促使TMC不断创新并且提出与众不同的方案。如果你有无法解决的高架地板的问题,请联系我们。