TMC CSP 紧凑亚赫兹摆式隔振系统

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品牌：TMC型号：CSP类型：隔振系统是否进口：进口area class="lazyLoad">

紧凑型亚赫兹摆式隔振系统(CSP®)是一个非常低频的水平隔振系统。其用途包括减少平台受到水平冲击（负载生成）的稳定时间，常见于半导体制造设备。

特性
•可调的、稳定的水平共振频率，与负载无关且对环境变化不敏感。频率范围可从1Hz降至0.5 Hz以下。
•总高度小于17in.，低于同频率摆式产品长度的一半
•一个轻量级摆式设计大大降低了常见摆式系统设计的“中间质量”共振；总悬浮质量只有几磅，在大多数应用中其相关的共振高于20赫兹。

•全模块化设计适合TMC Micro-g®支腿壳体，拆卸简单，维持隔膜总成。

•简单的双螺旋调整螺钉允许隔离器根据负载的浮动进行调整。调整可以在隔离器的顶板进行。

•TMC的标准机械超程限制可以阻止发生隔膜破裂的危险。
•水平阻尼器提供了出色的水平阻尼，且不增加系统的共振频率。

•减少的tilt-to-horizontal耦合使系统理想用于TMC的主动产品——包括peps®II（精密电子定位系统）和PEPS-VX®3自由度主动隔振系统。

•由于增加了缓冲槽到顶部腔容积的比例，改善了垂直阻尼特性
•每个隔离器可用的负载范围从250磅到2500磅