杭州扬涛科技有限公司
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品牌:PSD型号:PSD-2000工作原理:光学干涉测厚仪用途:涂层测厚仪测量范围:15 nm - 100 ummm显示方式:电脑液晶显示电源电压:220V加工定制:是外形尺寸:按照客户定制mm重量:300kg测量波长:380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm光源:钨卤素灯可测层数:最多10层测量时间:19 ms/点接口:USB 2.0(主单元与电脑接口);RS-232C(光源与电脑接口) 纳米级光学干涉测厚仪 应用: PET、PE、PMMA等薄膜·离型膜·沉积膜·金属表面漆膜涂层·膜涂层·塑料涂层 产品简介: PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪利用光谱相干测量学,用于测量半导体制造过程中的薄膜厚度,以及安装在半导体制造设备上的APC和薄膜的质量控制,能够测量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度,精确度可达纳米级。 PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪,其核心部件主要源自于美国Ocean Optics有限公司,其微型光谱仪体积小巧,可对全谱进行快速采集,产品应用广泛,可用于生化、光电、航空航天、环境保护、安全检测、农业等行业,可进行 Low-E玻璃镀膜检测,ITO玻璃镀膜检测,PET涂布在线膜厚检测,金属表面涂层检测,半导体,LCD膜厚检测等。 工作原理: 分光干涉法 当光入射到样品内部,会发生多重反射现象,多重反射光会由于相互之间的相位差增强或减弱,而相位差取决于样品的折射率和光程,因此来自于样本的反射光谱与其厚度有直接关系。光谱干涉法就是利用这种独特的光谱分析出样品的厚度,该厚度测量仪器根据测试范围的不同主要使用曲线拟合和FFT两种方法对光谱进行分析。 应用范围: •PET薄膜厚度测量 •涂层厚度测量,如HC,保护膜,光刻胶,OCA,离型膜等涂布厚度或克重的测量 •用于包装的PET表面介质膜克重或膜厚测量 •金属表面透明和半透明漆膜涂层 在线扫描式或多点测量(多达15点)同时测量 通过光强波动校正功能实现长时间稳定测量 提醒及警报功能(通过或失败) 反射(透射)和光谱测量 同步测量多层厚度 高速、高准确度 参数: 型号 PSD-2000W PSD-2000P PSD-2000R 可测膜厚范围 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um 测量可重复性 0.02 μm 测量准确 ±1% 光源 钨卤素灯 测量波长 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm 光斑尺寸 约φ1 mm 工作距离 10 mm 可测层数 最多10层 分析 FFT 分析,拟合分析 测量时间 19 ms/点 外部控制功能 Ethernet 接口 USB 2.0(主单元与电脑接口);RS-232C(光源与电脑接口) 电源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 约330W(2通道)~450W(15通道) PSD-200实验室型纳米级光学干涉测厚仪 用途: ·太阳能减反膜玻璃,TCO玻璃,Low-E玻璃,ITO玻璃,光学玻璃镀膜等测量。 ·PET膜透明胶膜厚测量 ·膜厚,颜色,粗糙度,透过率,反射率,雾度 ·可用于实验室离线测量 技术水平: ·精度0.1%,达到国际同类产品水平 ·检测透明和半透明涂层 ·反射式太阳能玻璃的膜厚/折射率测量仪,具有测量速度快,测量准确,操作简便的特点。 技术参数: 产品类型 可见光 紫外+可见光 厚度测量 15nm-100μm 1nm-100μm 折射率 厚度要求100nm以上 厚度要求50nm以上 准确性 2nm或0.5% 精度 0.1nm 测量时间 小于1秒 光斑大小 大约1mm 软件: ·实时显示反射率,透光率,膜厚(多层膜),颜色值和折射率;同时具有仿真功能 ·支持多角度各种入射条件下的仿真和拟合 ·在线/离线监控和历史数据界面 ·输出至SQL服务器;小型内置式SQL ·可根据客户要求定制界面产品优势: