苏州晶淼半导体设备有限公司
资料信息
认证信息
品牌:JM型号:JM1601-NH02-GPQX类型:电镀废物处理装置电镀位置:无镀种:真空镀膜额定功率:15kW额定电压:220V适用领域:半导体、集成电路设备工作温度:75-80℃电镀电源:交流显示机制:触屏控制自动化程度:半自动详细说明
该设备主要用于清除硅(芯)片表面的废屑、金属离子等物质,是硅(芯)片生产过程中重要工序。设备主要技术特点:1.可靠的控制系统;2.触摸屏控制显示 ;3.可设置和存储工艺菜单;4.高压去离子水泵5.喷头H轴Y轴调节6.在线电阻率检测水质;7.清洗后高纯氮气干燥模块;8.自动排水装置;9.对硅片定位框架的安全定位。设备的主要技术指标可按用户要求定做。